等離子體處理通常在抽真空的腔室或外殼中進行（真空等離子體）。在讓氣體進入之前，要先抽出腔室或外殼中的空氣。

氣體然后以低壓在外殼中流動。在施加能量（電功率）之前完成此操作。知道在低溫下進行的等離子體處理可以處理材料。

這些類型的血漿有時稱為“冷血漿”。等離子處理主要用于清潔表面。

在工業(yè)水平上，等離子處理用于在進行涂覆，印刷或粘附之前處理材料的表面。因此，它也可以稱為表面的一種預處理。用等離子體處理可以處理材料表面上存在的外來污染物，使其適合于進一步加工。像塑料這樣的材料，除非經(jīng)過處理，否則由于其光澤質(zhì)感，很容易在表面上失去類型的印刷或涂層。

塑料由聚丙烯制成，并且是同性的，這意味著它們不容易粘合。

在此類表面上進行等離子處理可能會導致表面預處理，然后再進行膠合，印刷或上漆。同樣，陶瓷和玻璃等材料也可以用等離子體處理。通常，在等離子體處理中使用工業(yè)氧氣作為工藝氣體，因此獲得了氧氣等離子體的名稱。

但是，電暈處理機廠家建議在稱為等離子體的許多等離子體表面處理中使用。根據(jù)等離子體處理材料的類型，可能會持續(xù)幾分鐘或幾個月。